Распыляемые мишени и катоды

В виде дисков

photo8.jpg (15313 bytes)

В виде пластин ( планарные )

Катоды

Помимо общеизвестного и прекрасно себя зарекомендовавшего серийновыпускаемого промышленностью оборудования для напыления тонких плёнок широко применяются и другие, т.н. «нестандартные» установки нанесения покрытий, разработанные и изготовленные талантливыми учёными и технологами для решения специальных тематических задач в сфере науки и производства.

Из-за многообразия типоразмеров распыляемых мишеней, их конструктивных особенностей, требований к химической чистоте и конечной микроструктуре материалов, довольно сложно рассчитать и опубликовать полный и актуальный прайс-лист на все изделия, которые потенциально может изготовить наша организация.
Поэтому стоимость каждого заказа на такую продукцию рассчитывается отдельно.
Для точного расчета требуется техническое задание и чертежи, так как мы поставляем мишени и катоды в конечном виде, то есть без необходимости их последующей доработки перед эксплуатацией.

Применяем скидки к цене для постоянных клиентов, а также в зависимости от содержания заказа, его стоимости и количества изделий.

Информацию о наличии готовых изделий на складе ООО «Ютерма», особенностях технологии их изготовления, ценах и сроках поставки можно получить по телефону +7 (903) 770-47-95 или направить запрос по факсу
+7(4967) 69-42-49 и электронной почте techno@podolsk.ru, titan17@rambler.ru.

Распыляемые мишени и катоды для отечественных и импортных установок напыления

«Стандартные»
(наиболее распространённые, для следующих типов установок напыления):

«Специальные»
(для установок напыления с особой конструкцией катодного узла)

«Оратория 5» «Оратория 9»

«Оратория 2М» «Оратория 29»

«Магма 2М» «Мир- 3А»

«Плазма» «Магнетрон»

«Булат 3Т» «ННВ 6.6»

«Юнион» «Катод 1М»

«УМР 3» УМР 71»

«Puma» «Leybold»

«Alcatel» и др.

Диски диам. до 220 мм., пластины толщиной до 15 мм. с различной длиной и шириной ( цельные или составные ) и др.

* Мишени могут поставляться цельными или в комплекте с медным водоохлаждаемым основанием.

** Химический состав материалов мишеней соответствует составу исходных компонентов.

*** На каждую мишень предоставляется сертификат.

Основные материалы

Металл	Марка	Хим. чист., %	Металл	Марка	Хим. чист., %
Алюминий	А 99	99,99	Молибден	МЧ	99,9
Алюминий	А995	99,995	Молибден	МЧВП	99,95
Алюминий	А5N	99,999	Никель	Н1у	99,95
Ванадий	ВнМ-1	99,50	Никель	Н-0	99,99
Ванадий	ВнМ-0	99,70	Ниобий	Нб-1Пл	99,90
Вольфрам	ВА	99,80	Олово	О1пч	99,91
Гафний	ГФИ-1	99,89	Свинец	С1С	99,99
Железо	ЖрПс	99,95	Тантал	ТВЧ	99,90
Индий	Ин-0	99,97	Титан	ВТ1-0	99,10
Индий	Ин-00	99,999	Титан	ВТ1-00	99,60
Кобальт	К1А-у	99,35	Хром	ЭРХ	99,95
Кобальт	К-0	99,98	Цинк	ЦВ0	99,995
Медь	М1	99,90	Цирконий	Э110	99,50
Медь	М0б	99,97	Цирконий	Цр-Пл	99,80
Возможно изготовление мишеней и катодов из других материалов, (кроме драгоценных), а также из чистых сплавов с особыми свойствами – магнитных, резистивных, высокочистых припоев, жаростойких, антифрикционных, термопарных и т.д.