Tp 7 термометр Абразивный инструмент Ростов на дону Анероид Виброустойчивые термометры фото Гигрометр купить Градусник normal glass 360 Градусник мир детства купить Емкость для воды Купить ареометр для нефтепродуктов Купить медицинский градусник Купить оправу для термометра Купить термоконтактор в ростове на дону Лигатуры Нанотехнологии Песочные часы купить Проволока Ростов на дону электронная рулетка Сувениры оптовые фирмы Ростов Термоконтактор тк 15 Термометр Термометр Спиртовой в Ростове на Дону Термометр в металлическом корпусе Термометр воды Термометр капсула купить Термометр комнатный Термометр медицинский Термометр ртутный тин 7 от производителя Термометр со щупом Термометр тк 1 Термометр тн 4 Термометр уличный Термометры для инкубатора Термометры оптом Тк 52а цена Тм 8 градусник мир детсвтва Тп 6 термометры купить в Питере
.

Магнетронное распыление

 

Дата публикации:

Дата изменения:

Магнетронное распыление для нанесения тонких пленок

Магнетронное распыление от компании Ютерма по доступной цене.

Установки магнетронного напыления – это системы ионно-плазменного распыления, применяющиеся для нанесения тонких плёнок.

Магнетронные распылительные системы (МРС) различного типа, служащие в основном для металлизации интегральных микросхем, например, нанесении плёнок алюминия на непрерывно движущиеся кремневые пластины. Кроме того, промышленные установки магнетронного распыления применяют для нанесения покрытия на рулонные материалы.

В состав установки магнетронного распыления входят: рабочая камера, с нагревателями платин, магнетронными устройствами распыления, транспортной системой, шлюзовыми системами загрузки и выгрузки, вакуумная система с насосом, газовая система. Корпус рабочей камеры охлаждается и подогревается водой. Нагреватель пластин размещен перед зоной нанесения плёнки.

Магнетронная система представляет собой сочетание нескольких магнетронов. Между магнетронами установлены экраны для ограничения площади осаждения плёнок на платине.

Транспортная система выполнена в виде замкнутого конвейера, состоящего из двух параллельных цепей, имеющих привод вращения и устройства регулировки натяжения. На цепях устанавливают захваты пластин. Для плавной укладки и съёма пластин в рабочей камере предусмотрены пассики. Охлаждение пластин происходит при движении их от камеры распыления до камеры загрузки.

В каждом шлюзе имеется механизмы перемещения кассет, резиновые пассики с приводами, затворы шлюза и их приводы.

Вакуум в рабочей камере обеспечивает вакуумный агрегат, который соединен с  рабочей камерой и шлюзами трубопроводом с вакуумными клапанами.

Газовая система предназначена для подачи аргона через натекатели в магнетроны и шлюзы. Для регулирования давления аргона на входах этих натекателей в газовой системе предусмотрены регуляторы давления. На каждый шлюз установлены два автоматических натекателя для напуска аргона и воздуха. Натекатель аргона открывается кратковременно при откачке шлюзовых камер для очистки их газовой среды, в результате чего уменьшается влияние остаточной атмосферы шлюзов на состав газовой среды рабочеё камеры.

Пневматическая система обеспечивает подачу сжатого воздуха на клапан вакуумной системы, а гидравлическая подаёт холодную воду на корпус насоса и в рабочую камеру с нагревательными магистралями.

Кроме того, имеется система управления вакуумной установкой.

Работа установки начинается с откачка из рабочей и шлюзных камер через открытые затворы. После откачки рабочей камеры до давления 5?10-2 мм. рт. ст. закрываются затворы шлюзов и клапаны, и продолжается откачка рабочей камеры до необходимого предельного остаточного давления.

При достижении первой ступени 1?10-1 мм рт. ст. в каждом шлюзе начинается подача в шлюз аргона для очистки его газовой среды.

В шлюз загрузки после его откачки и открывания затвора подаётся кассета с пластинами вниз. Кассета опускается до датчика, фиксирующего наличие пластин в кассете.

Затем включается привод пассиков в шлюзе, которые перемещают пластину из шлюза через окно в рабочую камеру, где она подхватывается резиновыми пассиками рабочей камеры и укладывается на конвейер. В это время кассета опустится в низ до следующей пластины.

Двигаясь по конвейеру в рабочей камере, каждая пластина попадает в камеру магнетронного распыления, где происходит формирование плёнки.

В результате после обработки все пластины собираются в кассету в шлюзной камере выгрузки

Типичная МРС, как правило, содержит один или несколько магнетронов (устройств для генерирования плазмы).

Существует большое число разнообразных конструкций магнетронов, отличающихся способом создания магнитного поля (в некоторых случаях – его конфигурацией), конструкцией катодного узла и геометрией мишени. Разработаны три базовые конструкции магнетронов. Все они – цилиндрическая, планарная и с кольцевым катодом – имеют общие черты. Эти конструкции представляют собой двухэлектродные распылительные системы, т. е. содержат анод и катод-мишень, изготовленный из распыляемого материала и находящийся под отрицательным потенциалом. Области разряда в различных конструкциях магнетронов имеют неодинаковую форму, поэтому и форма зоны эрозии мишени, являющаяся одной из важнейших характеристик магнетронов, различна.

Формирование области разрядов с заданными параметрами связано с конструированием всех функциональных узлов магнетронов и МРС в целом, что обеспечивает качественные характеристики распылительных систем, и в частности, высокие скорости осаждения распыленного материала мишени.

Важным элементом любого магнетрона я является мишень, которая влияет на процесс напыления тонкопленочных покрытий. Поэтому, для начала, специалист должен точно определить желаемые свойства и качества требуемой мишени. А именно, материал мишени, необходимую чистоту, содержание абсорбированных газов и допуски на размеры мишени.

Принцип функционирования магнетронов (метод магнетронного распыления) основан на использовании скрещенных магнитного и электрического полей для повышения эффективности ионизации рабочего газа и создания над поверхностью катода-мишени области плотной плазмы. Для формирования плазмы используется магнитное поле, линии которого перпендикулярны линиям электрического поля, имеют значительную кривизну и проходят через поверхность катода-мишени. Зона тлеющего разряда плотной плазмы низкого давления имеет замкнутую конфигурацию и локализована над определенным участком поверхности катода-мишени в области магнитного поля, где и происходит интенсивное распыление материала.

При подаче напряжения на анод в промежутке между анодом и катодом возникает электрический разряд. Электроны ионизируют газ, двигаясь по спирали. Положительно заряженные ионы бомбардируют мишень, при этом с поверхности мишени выбиваются атомы металла, которые осаждаются на подложке.

 Магнетронное распыление (фото) (рисунок)
 Магнетронное распыление (картинка) (фото)

Статьи

Механический термометр максимальный используют в санитарных и отопительных установках, предлагаем доставку товара в Ейск, Азов, Новороссийск.
Нанотехнологии работают с такими объектами, как наночастицы, нанотрубки, нанопорошки, нанопленки, нановолокна.
 
Rambler's Top100 Яндекс.Метрика
Ютерма Оптовые продажи КИПиА:
344023, г. Ростов-на-Дону, ул. Врубовая, 32Б
Тел.: +7 (863) 293-01-08
E-mail: yuterma@yandex.ru